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??? 中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“重慶研究院”)是中國科學(xué)院、原國務(wù)院三峽辦、重慶市人民政府三方共建的中國科學(xué)院直屬科研機構。2011年3月開(kāi)始籌建,2012年7月26日正式獲得中央機構編制委員會(huì )辦公室...
查看更多 +截至2023年12月,重慶研究院現有創(chuàng )新人才隊伍近500人,其中各類(lèi)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才近400人,包括國家級人才5人、中國科學(xué)院院級人才133人、重慶市市級人才81人;現有博士研究生導師46名,碩士研究生導師71名。在冊職工中92%具有研究生學(xué)歷,54%具有博士學(xué)位,43%具有海外留學(xué)或工作經(jīng)歷。人才隊伍以專(zhuān)業(yè)技術(shù)崗位為主(占88%),其中高級專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員占比52%。
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磁增強反應離子刻蝕機
儀器型號:ME-3A型
購置年月:2012年6月
儀器簡(jiǎn)介:
ME-3A型多功能機既可作反應離子刻蝕(RIE),又可作磁增強反應離子刻蝕(MERIE),且轉換十分方便(只需撥一下開(kāi)關(guān)),由于有磁場(chǎng)的作用,它在較高真空度(< 1Pa)下亦可起輝并穩定工作,因此,它不僅可用于常規的半導體干法刻蝕,還特別適用于亞微米和邊沿陡直圖形的刻蝕,使用不同的氣體,它可刻蝕Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、Si、poly-Si、W、WSi、Mo、石英、鈮、正、負光刻膠、聚乙酰亞胺等材料。該機型具有六路進(jìn)氣入口(其中二路用于氣路清洗),采用4個(gè)質(zhì)量流量計控制氣流流量,因此重復性好,可自動(dòng)控時(shí)。另外,該機預抽真空的時(shí)間很短(3~5分鐘),工作效率高,操作簡(jiǎn)單。
應用范圍:
不僅可用于常規的半導體干法刻蝕,還特別適用于亞微米和邊沿陡直圖形的刻蝕。
技術(shù)參數:
1. 射頻功率:10-500瓦(可調)
2. 真空系統:110升/秒分子泵機組
3. 均勻性:±5% (4英寸內)
4. 反應室尺寸:內徑300 mm
5. 整機尺寸:1.06×0.7×1.32 m3
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