两性色午夜视频免费网,91精品欧美激情在线播放,国产小视频在线观看免费,欧美日韩一区在线观看

精密勻膠機

儀器型號：美國Smart Coater 100

購置年月：2012年6月

儀器簡(jiǎn)介：

SmartCoater？精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟的晶圓底物旋轉勻膠設備，它可以實(shí)現價(jià)值百萬(wàn)美元設備（track）的上才可能達到穩定性和均勻性。不銹鋼外殼比塑料或者鍍漆金屬更耐久和美觀(guān)；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統，采用于track設備相同設計和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應用意義；同類(lèi)產(chǎn)品中領(lǐng)先的最大達到50000RPM/S的旋轉加速度，確保旋轉勻膠的穩定和極高的可重復性。

應用范圍：

   廣泛的應用于半導體生產(chǎn)，MEMS生產(chǎn)，薄膜技術(shù)，傳感器以及高級封裝技術(shù)之中。

技術(shù)參數：

1. 主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

2. 旋涂程序：最多可存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒

3. 轉動(dòng)速度：0-10,000rpm(可選更高速)

4. 旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

5. 馬達旋涂轉速穩定性能誤差<±1%

6. 轉速調節精度<1rpm，重復性<1rpm

7. 工藝時(shí)間設定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設置精度：0.1sec

8. 支持wafer尺寸1cm-200mm

9. 旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量）

10. 設備尺寸32cm W×44cm D×30cm H