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??? 中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“重慶研究院”)是中國科學(xué)院、原國務(wù)院三峽辦、重慶市人民政府三方共建的中國科學(xué)院直屬科研機構。2011年3月開(kāi)始籌建,2012年7月26日正式獲得中央機構編制委員會(huì )辦公室...
查看更多 +截至2023年12月,重慶研究院現有創(chuàng )新人才隊伍近500人,其中各類(lèi)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才近400人,包括國家級人才5人、中國科學(xué)院院級人才133人、重慶市市級人才81人;現有博士研究生導師46名,碩士研究生導師71名。在冊職工中92%具有研究生學(xué)歷,54%具有博士學(xué)位,43%具有海外留學(xué)或工作經(jīng)歷。人才隊伍以專(zhuān)業(yè)技術(shù)崗位為主(占88%),其中高級專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員占比52%。
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移動(dòng)掩模曝光系統(紫外光刻機)
儀器型號:中國光電URE-2000A/55
購置年月:2012年6月
儀器簡(jiǎn)介:
URE-2000系列紫外深度光刻機采用積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應、真空曝光和氣浮曝光等技術(shù),實(shí)現了高均勻照明和亞微米高分辨力光刻;采用底面對準技術(shù),單曝光頭實(shí)現高準確度雙面對準曝光;采用積木錯位蠅眼透鏡結合離軸非球面反射照明等技術(shù),實(shí)現大面積、高能、均勻、冷光、平行曝光;采用雙焦點(diǎn)對準技術(shù),實(shí)現厚膠高準確度對準與套刻。
應用范圍:
廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域,在LED、MEMS、IC領(lǐng)域及大尺寸光柵、碼盤(pán)等刻劃中也具有突出的功能與用途。
技術(shù)參數:
1. 曝光面積:150mm×150mm
2. 分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠)
3. 對準精度:0.6μm
4. 掩模樣片整體運動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm
5. 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
6. 樣片尺寸:直徑15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm
7. 照明均勻性: 3.5%(100mm 范圍); 5%( 150mm范圍)
8. 掩模相對于樣片運動(dòng)行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度
9. 最大膠厚:500m(SU8膠,用戶(hù)提供勻膠條件)
10. 光源平行性:3.5
11. 汞燈功率:1000W(直流)
12. 曝光設定方式:定時(shí)(倒計時(shí)方式0.1s-999.9s任意設定)
13. 外形尺寸:1400mm(長(cháng))1200mm(寬) 2150mm(高)
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