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??? 中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“重慶研究院”)是中國科學(xué)院、原國務(wù)院三峽辦、重慶市人民政府三方共建的中國科學(xué)院直屬科研機構。2011年3月開(kāi)始籌建,2012年7月26日正式獲得中央機構編制委員會(huì )辦公室...
查看更多 +截至2023年12月,重慶研究院現有創(chuàng )新人才隊伍近500人,其中各類(lèi)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才近400人,包括國家級人才5人、中國科學(xué)院院級人才133人、重慶市市級人才81人;現有博士研究生導師46名,碩士研究生導師71名。在冊職工中92%具有研究生學(xué)歷,54%具有博士學(xué)位,43%具有海外留學(xué)或工作經(jīng)歷。人才隊伍以專(zhuān)業(yè)技術(shù)崗位為主(占88%),其中高級專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員占比52%。
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臺階儀
儀器型號:KLA Tencor ALPHA STEP IQ
購置年月:2012年7月
儀器簡(jiǎn)介:
Alpha-Step IQ是先進(jìn)的探針接觸式表面輪廓儀(又叫:臺階儀或膜厚儀),集高測量精度、多功能性和經(jīng)濟性于一體,是試行生產(chǎn)線(xiàn)及材料分析的理想選擇。在其8 ?(1δ)或0.1%的臺階高度重復性以及亞埃級別的分辨率的保證下,Alpha-Step IQ能夠為工藝過(guò)程的分析和監控提供最佳的重復性和性能。計算機化的系統更提供了聯(lián)網(wǎng)和USB通訊的強大功能。Alpha-Step IQ能幫助您更及時(shí)地了解工藝狀況以及提高產(chǎn)量。
應用范圍:
該儀器提供了一整套完備的二維表面形貌分析方法,適用于各種表面,包括:半導體硅片、MEMS、微電子陶瓷、SIMS、光學(xué)表面和平面顯示。Alpha-Step IQ另外還提供了豐富的選件,如:更高的垂直測量范圍、用于樣品定位的更大倍率的攝象頭機、集成的數據處理軟件和支持多語(yǔ)言顯示等等。
技術(shù)參數:
1. 可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度;
2. 可分析表面粗糙度;
3. 具有7.5? (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。
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